半导体压缩空气质量标准

　　半导体空压系统是在半导体生产和研发过程中使用的重要设备之一，其能够为半导体制造过程提供高质量、稳定的气体供应。目前，国际上主要采用的半导体空压系统标准包括以下几个：

　　1.SEMI S2-0715：这是美国半导体设备与材料国际协会(SEMI)发布的一项标准，要求半导体设备必须符合人身安全、环境保护和设备性能等方面的规定。

　　2.SEMI S6-0715：这也是SEMI发布的一项标准，要求半导体设备必须符合电气安全、机械安全和防火防爆等方面的规定。

　　3.ISO 8573-1-2010：这是由国际标准化组织(ISO)发布的一份标准，规定了空气质量的各个等级，以及检测方法和限制值等。

　　4.GB/T 2819-2011：这是中国国家标准化管理委员会发布的一份标准，规定了压缩空气、氮气和惰性气体的品质指标、检测方法和限制值等。

　　以上标准都是半导体空压系统必须遵守的基本要求，可以帮助确保半导体生产过程中的设备安全、性能稳定和气体品质可靠。