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面板厂的大宗气体品质要求

2024-07-10阅读量:

面板厂的大宗气体品质要求非常严格,这些要求直接关系到面板的生产质量和性能。以下是对面板厂大宗气体品质要求的详细分析:

一、纯度要求

面板厂对大宗气体的纯度有极高的要求。一般来说,大宗气体如氧气、氮气、氩气等,在面板制造过程中需要达到一定的纯度标准。这些气体的纯度通常通过以下几种方式表示:

  1. 百分数表示:如99%、99.999%等,纯度越高,表示气体中的杂质含量越低。
  2. “N”表示法:N代表百分数中9的个数,如3N表示99.9%,5N表示99.999%。在面板制造中,往往要求气体纯度达到5N或更高。
  3. PPM(Part Per Million)或PPB(Part Per Billion)表示:这些单位用于表示气体中杂质的浓度,PPM表示百万分之一,PPB表示十亿分之一。对于高纯气体,杂质浓度通常要求控制在PPM或PPB级别。

二、洁净度要求

除了纯度要求外,面板厂对大宗气体的洁净度也有严格规定。气体的洁净度主要涉及到气体中的颗粒度、油污、水分等杂质的含量。这些杂质如果超标,会对面板的制造过程产生不利影响,如影响薄膜的沉积质量、刻蚀精度等。

  • 颗粒度要求:通常要求气体中的颗粒度小于一定尺寸,如0.1μm或更小。
  • 油污和水分含量:这些杂质必须控制在极低的水平,以避免对面板制造过程造成污染。

三、稳定性和连续性要求

面板制造过程对气体的供应稳定性和连续性也有很高的要求。供气系统必须能够在系统安全、供气稳定、连续不中断的前提下,严格保证气体的品质及可靠性。这包括对气体的压力、流速等参数的精准控制,以及对指标波动范围的严格限制。

四、认证和合规性要求

面板厂在选择大宗气体供应商时,还会关注供应商是否具备相关的认证和合规性。例如,供应商需要通过ISO等国际质量管理体系认证,确保其生产的气体符合国际标准和行业规范。同时,供应商还需要遵守相关的环保法规和安全规定,确保气体的生产和使用过程对环境和人员安全无害。

五、具体案例

以某面板厂为例,其对大宗气体的品质要求可能包括以下几个方面:

  • 氧气纯度要求达到99.999%以上,氮气和氩气纯度要求达到99.9995%以上。
  • 气体中颗粒度要求小于0.1μm,油污和水分含量控制在极低水平。
  • 供气系统需要实现24小时不间断供应,且压力、流速等参数波动范围控制在极小范围内。
  • 供应商需要具备相关的国际质量管理体系认证和环保法规合规性证明。

综上所述,面板厂对大宗气体的品质要求非常严格,这些要求涵盖了纯度、洁净度、稳定性和连续性等多个方面。只有满足这些要求的大宗气体才能被用于面板制造过程中,以确保面板的生产质量和性能。

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