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半导体行业用的压缩空气要求是什么

2024-02-27阅读量:

  半导体行业对压缩空气的要求非常严格,因为压缩空气直接与产品接触,其质量和纯度直接影响到产品的质量和性能。以下是半导体行业对压缩空气的主要要求:

  颗粒控制:由于半导体产品的精密度非常高,微小的颗粒污染都可能导致产品失效。因此,要求压缩空气中的颗粒物浓度非常低,通常要求颗粒物浓度小于100个/立方英尺(或更低),以确保生产环境的洁净度和产品的质量。

  湿度控制:湿度对半导体产品的影响也很大,过高的湿度可能导致产品受潮、腐蚀等问题。因此,半导体压缩空气中的湿度必须受到严格控制,通常要求相对湿度低于50%,以防止产品受到水分的影响。

  油分控制:压缩空气中的油分会对半导体产品造成污染,影响产品的质量和性能。因此,要求压缩空气中的含油量非常低,通常要求总含油量小于1ppm,甚至更低。一些高端的应用场合,如芯片制造等,甚至要求使用0级无油的压缩空气

  气体纯度:除了颗粒物、湿度和油分外,半导体行业还要求压缩空气具有一定的气体纯度。这主要是为了防止其他气体成分对产品造成污染或影响产品的性能。一般来说,氮气、氧气等气体的纯度要求都比较高。

  为了满足这些要求,半导体行业通常会采用多级过滤、干燥和净化等处理工艺,以确保压缩空气的质量和纯度达到生产要求。同时,还会对压缩空气的生产、输送和使用过程进行严格的监控和管理,以确保压缩空气的稳定性和可靠性。

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